[发明专利]一种微结构柔性压力传感器及其制备方法在审
| 申请号: | 202111539750.2 | 申请日: | 2021-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN114184307A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
| 发明(设计)人: | 韩燕坤;陈明;杨春雷;张远奥;武双元 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00;G01L9/00;C25D13/12;C25D13/02;C25D13/22;C01B32/168;C01B32/194 |
| 代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;黄进 |
| 地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 微结构 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种微结构柔性压力传感器,其特征在于,所述柔性压力传感器包括叠层设置的两个以上的压力传感层,所述压力传感层为包括纤维布基体以及沉积在所述纤维布基体表面的纳米导电材料。
2.根据权利要求1所述的微结构柔性压力传感器,其特征在于,所述纤维布基体的厚度为400μm~600μm。
3.根据权利要求1所述的微结构柔性压力传感器,其特征在于,所述纤维布基体为聚酰亚胺纤维布或碳布,所述纳米导电材料为碳纳米管或石墨烯或金属纳米颗粒。
4.根据权利要求3所述的微结构柔性压力传感器,其特征在于,所述纳米导电材料为采用混合强酸溶液改性的碳纳米管或石墨烯。
5.一种如权利要求1-4任一所述的微结构柔性压力传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S10、配制纳米导电材料分散液;
S20、将所述纤维布基体浸入所述纳米导电材料分散液中,通过电沉积工艺使所述纳米导电材料沉积在所述纤维布基体表面;
S30、对进行电沉积后的所述纤维布基体干燥处理,制备获得压力传感层;
S40、将两个以上的所述压力传感层叠层封装并引出电极,制备获得所述微结构柔性压力传感器。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S10包括:将纳米导电材料溶解于无水乙醇中,然后进行超声处理,获得所述纳米导电材料分散液。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S10中,纳米导电材料与无水乙醇的质量比为3~10:10000。
8.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S20中,将所述纤维布基体黏附于导电板上,通过电泳工艺使所述纳米导电材料沉积在所述纤维布基体表面;所述电泳工艺的电压为5V~30V,时间为0.5h~4h。
9.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S30中,所述干燥处理方式为烘烤干燥,烘烤温度为60℃~80℃,烘烤时间为5min~10min。
10.根据权利要求5-9任一所述的制备方法,其特征在于,所述纳米导电材料为采用混合强酸溶液改性的碳纳米管或石墨烯,改性方法包括:
S101、将浓硝酸和浓硫酸混合,配制获得改性剂;
S102、将碳纳米管或石墨烯加入到所述改性剂中获得分散液;
S103、将所述分散液置于恒温加热磁力搅拌器上油浴加热,冷凝回流,然后用滤纸进行抽滤;
S104、收集滤纸上的碳纳米管或石墨烯并加热烘干至恒重,获得改性的碳纳米管或石墨烯。
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