[发明专利]利用E-T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法有效
| 申请号： | 202111538506.4 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114429894B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 戴志晖;王雷;朱钦舒 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/20 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 薛雨妍 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了利用E‑T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法，包括第一组件、第二组件、螺丝和铜网样品,所述第二组件上设有一排锁紧孔和一排凹槽；所述第一组件上设有样品放置槽，其中铜网样品放置在每个所述样品放置槽上，其中螺丝穿过对应的锁紧孔将第二组件固定在所述第一组件的顶部。所述方法将铜网透射样品置于凹槽型样品台中，通过凹槽型设计与物镜极靴底部形成相对闭合空间来抑制E‑T型二次电子探测器从样品上表面获得表面信息，从而达到扫描透射成像的目的。本发明所述方法工艺简单、成像效果好、可重复性强，适用于各种扫描电子显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 二次电子 探测器 获得 扫描 成像 固定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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