[发明专利]利用E-T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法

权利要求书

1.利用E-T型二次电子探测器获得扫描透射成像固定装置，其特征在于：包括第一组件（1）、第二组件(2)、螺丝（3）和铜网样品（4）,所述第二组件（2）上设有一排锁紧孔（5）和一排凹槽（6）；所述第一组件（1）上设有样品放置槽（7），其中铜网样品（4）放置在每个所述样品放置槽（7）上，其中螺丝（3）穿过对应的锁紧孔（5）将第二组件（2）固定在所述第一组件（1）的顶部；每个所述凹槽（6）的底部设有凸环（8）；每个所述凸环（8）与所述样品放置槽（7）卡合适配；每个所述凹槽（6）的孔径从上到下逐渐缩小。

2.根据权利要求1所述的利用E-T型二次电子探测器获得扫描透射成像固定装置，其特征在于：所述凹槽（6）竖直的直线深度为1.8mm。

3.根据权利要求1所述的利用E-T型二次电子探测器获得扫描透射成像固定装置，其特征在于：所述第一组件（1）的底部安装有钉子或者圆柱。

4.根据权利要求1所述的利用E-T型二次电子探测器获得扫描透射成像方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤 1：将铜网样品（4）放置固定装置的在第一组件（1）上的样品放置槽（7）上；通过螺丝（3）将第二组件固定在所述第一组件（1）上；

步骤2：将步骤1带有铜网样品（4）的固定装置升高至距离物镜极靴的底部的距离小于等于3.5毫米，利用E-T型二次电子探测器进行成像；

步骤3：将固定装置与物镜极靴底部之间的距离调节到小于等于10 毫米，利用E-T型二次电子探测器获得二次电子成像或混合信号成像。

5.根据权利要求4所述的利用E-T型二次电子探测器获得扫描透射成像方法，其特征在于：利用镜筒内背散射电子探测器获得组分衬度成像。