[发明专利]离子束聚焦的离子传输装置在审

专利信息
申请号: 202111535636.2 申请日: 2021-12-15
公开(公告)号: CN114267574A 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 于同坡;徐强;官觊文;周晓国;王占东 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/40
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张博
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本公开提供了一种能够实现离子束聚焦的离子传输装置,该装置包括:收集筒电极、电极片、第一绝缘垫片、第一筒状电极、第二筒状电极、第二绝缘垫片、第三筒状电极,以及扁状电极;该装置还包括:电极固定模块、支撑筒和法兰支架;其中,离子传输装置具有延伸轴线,收集筒电极、电极片、第一筒状电极、第二筒状电极、第三筒状电极和扁状电极沿延伸轴线依次设置,收集筒电极、电极片、第一筒状电极、第二筒状电极、第三筒状电极和扁状电极都具有中心通孔,中心通孔彼此连通,以形成离子传输通道;以及收集筒电极、电极片、第一筒状电极、第二筒状电极、第三筒状电极和扁状电极都可以施加一定的电压,以实现离子束聚焦。
搜索关键词: 离子束 聚焦 离子 传输 装置
【主权项】:
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