[发明专利]离子束聚焦的离子传输装置在审
申请号: | 202111535636.2 | 申请日: | 2021-12-15 |
公开(公告)号: | CN114267574A | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 于同坡;徐强;官觊文;周晓国;王占东 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06;H01J49/40 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张博 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开提供了一种能够实现离子束聚焦的离子传输装置,该装置包括:收集筒电极、电极片、第一绝缘垫片、第一筒状电极、第二筒状电极、第二绝缘垫片、第三筒状电极,以及扁状电极;该装置还包括:电极固定模块、支撑筒和法兰支架;其中,离子传输装置具有延伸轴线,收集筒电极、电极片、第一筒状电极、第二筒状电极、第三筒状电极和扁状电极沿延伸轴线依次设置,收集筒电极、电极片、第一筒状电极、第二筒状电极、第三筒状电极和扁状电极都具有中心通孔,中心通孔彼此连通,以形成离子传输通道;以及收集筒电极、电极片、第一筒状电极、第二筒状电极、第三筒状电极和扁状电极都可以施加一定的电压,以实现离子束聚焦。 | ||
搜索关键词: | 离子束 聚焦 离子 传输 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学,未经中国科学技术大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111535636.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。