[发明专利]离子束聚焦的离子传输装置

权利要求书

1.一种能够实现离子束聚焦的离子传输装置，其特征在于，包括：

收集筒电极，所述收集筒电极用于收集离子束，所述收集筒电极具有第一中心通孔，所述收集筒电极被施加第一电压；

电极片，所述电极片具有第二中心通孔，所述电极片被施加第二电压；

第一绝缘垫片，所述第一绝缘垫片设置在所述收集筒电极与所述电极片之间；

第一筒状电极，所述第一筒状电极具有第三中心通孔，所述第一筒状电极被施加第三电压；

第二筒状电极，所述第二筒状电极具有第四中心通孔，所述第二筒状电极被施加第四电压；

第二绝缘垫片，所述第二绝缘垫片设置在所述第一筒状电极与所述第二筒状电极之间；

第三筒状电极，所述第三筒状电极具有第五中心通孔，所述第三筒状电极被施加第五电压；以及

扁状电极，所述扁状电极具有第六中心通孔，所述扁状电极与所述第三筒状电极间隔设置，所述扁状电极被施加第六电压，

其中，所述离子传输装置具有延伸轴线，所述收集筒电极、所述电极片、所述第一筒状电极、所述第二筒状电极、所述第三筒状电极和所述扁状电极沿所述延伸轴线依次设置，所述第一中心通孔、所述第二中心通孔、所述第三中心通孔、所述第四中心通孔、所述第五中心通孔和所述第六中心通孔彼此连通，以形成离子传输通道；以及

所述离子传输装置被配置为：能够控制所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压、所述第四电压、所述第五电压和所述第六电压中至少一个的值，以实现离子束聚焦。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

电极固定模块，所述电极固定模块与所述第三筒状电极和所述扁状电极固定连接；

支撑筒，所述支撑筒包围所述电极固定模块，且与所述电极固定模块固定连接；以及

法兰支架，所述法兰支架环绕设置在所述支撑筒上。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述收集筒电极的侧面设置有多个第一通孔，所述第一通孔通过导线与外部电源连接；以及

在所述收集筒电极的表面设置有多个第二通孔，所述第二通孔与第一绝缘垫片表面的第三通孔固定连接。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，在所述第一绝缘垫片边缘表面设置有第一限位台阶槽，便于所述电极片平行嵌入到所述第一限位台阶槽内；

所述第一绝缘垫片具有第七中心通孔和多个所述第三通孔；

所述第三通孔与所述电极片表面的多个第四通孔固定连接；

所述第一绝缘垫片的第七中心通孔与所述收集筒电极的第一中心通孔和所述电极片的第二中心通孔同心相通。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一筒状电极的侧面设置有一第五通孔，所述第五通孔通过导线与外部电源相连接或与电阻相连后接地；

所述第一筒状电极两侧的表面具有多个第六通孔，所述第六通孔与所述第一绝缘垫片表面的第三通孔或第二绝缘垫片表面的第七通孔固定连接。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第二绝缘垫片边缘表面设置有第二限位台阶槽，所述第二筒状电极平行嵌入至所述第二限位台阶槽内，并通过所述第二绝缘垫片的第七通孔与第二筒状电极表面的第八通孔固定连接；

所述第二绝缘垫片具有第八中心通孔，所述第八中心通孔与所述第一筒状电极的第三中心通孔和所述第二筒状电极的第四中心通孔同心相通。

7.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第二筒状电极的侧面具有一第九通孔，所述第九通孔通过导线与电阻相连后直接接地，且所述第九通孔与所述支撑筒上的第十通孔固定连接。

8.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第三筒状电极的表面设置有一第十一通孔，所述扁状电极的表面设置有第十二通孔，所述第十一通孔和所述第十二通孔通过导线与外部电源相连或与电阻相连后直接接地；

所述第三筒状电极和所述扁状电极等间距分布在所述电极固定模块上，所述电极固定模块上的多个第十三通孔与所述第十一通孔和所述第十二通孔固定连接，且与支撑筒上表面设置的多个第十四通孔固定连接。