[发明专利]提供气体切换的气体供应系统及气体切换的方法有效
| 申请号： | 202111523467.0 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114151730B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 汤雨竹;叶五毛 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;H01L21/67;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 110171 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种提供气体切换的气体供应系统，包含：一第一气体源；一第一主管，具有一上游端及一下游端，所述第一主管的上游端连接所述第一气体源；一第一旁路管，旁路于所述第一主管的上游端和下游端之间；及一汇流管，具有一上游端及一下游端，所述汇流管的上游端连接所述第一主管的下游端，所述汇流管的下游端连接所述反应腔体。所述第一主管、所述第一旁路管及所述汇流管藉由一切换手段，使第一气体选择性经由所述第一主管和所述汇流管下游输送至所述反应腔体，或者经由所述第一主管和所述第一旁路管所形成的封闭回路中循环输送。此外，本发明还提供了一种所述气体供应系统执行的气体切换的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 气体 切换 供应 系统 方法 | ||
【主权项】：
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