[发明专利]提供气体切换的气体供应系统及气体切换的方法

权利要求书

1.一种提供气体切换的气体供应系统，用于供应气体至执行半导体工艺的反应腔体，其特征在于，所述系统包括：

一第一气体源；

一第一主管，具有一上游端及一下游端，所述第一主管的上游端连接所述第一气体源；

一第一旁路管，旁路于所述第一主管的上游端和下游端之间；及

一汇流管，具有一上游端及一下游端，所述汇流管的上游端连接所述第一主管的下游端，所述汇流管的下游端连接所述反应腔体，

其中，所述第一主管、所述第一旁路管及所述汇流管通过一切换手段，使第一气体选择性经由所述第一主管和所述汇流管下游输送至所述反应腔体，或者经由所述第一主管和所述第一旁路管所形成的封闭回路中循环输送。

2.根据权利要求1所述气体供应系统，其特征在于，其中所述循环输送的气体流速相当于所述下游输送的气体流速。

3.根据权利要求2所述气体供应系统，其特征在于，其中所述第一主管的下游端和上游端分别提供有一第一主阀体和一第二主阀体，所述第一旁路管提供有一第一旁路阀体，当所述第一主阀体和第二主阀体开启且第一旁路阀体关闭，则所述第一气体为所述下游输送；当所述第一主阀体和第二主阀体关闭且第一旁路阀体开启，则所述第一气体为所述循环输送。

4.根据权利要求3所述气体供应系统，其特征在于，其中所述第一旁路管提供有一第一泵浦，用于控制所述循环输送的气体流速。

5.根据权利要求4所述气体供应系统，其特征在于，其中所述第一主管提供有一第一监测组件用于监测所述下游输送时的气体流速，所述第一旁路管提供有一第二监测组件用于监测所述循环输送的气体流速。

6.根据权利要求5所述气体供应系统，其特征在于，还包括：

一第二气体源；

一第二主管，具有一上游端及一下游端，分别连接所述第二气体源及所述汇流管；及

一第二旁路管，旁路于所述第二主管的上游端和下游端之间，

其中，所述第二主管、所述第二旁路管及所述汇流管通过另一切换手段，使第二气体选择性经由所述第二主管和所述汇流管下游输送至所述反应腔体，或者经由所述第二主管和所述第二旁路管所形成的封闭回路中循环输送。

7.根据权利要求6所述气体供应系统，其特征在于，其中当所述第一气体为下游输送时，所述第二气体为循环输送；当所述第一气体为循环输送时，所述第二气体为下游输送。

8.一种根据权利要求6所述气体供应系统执行的气体切换的方法，其特征在于，所述包括：

将第一气体，经由所述第一主管和所述汇流管，下游输送至所述反应腔体；

执行所述切换手段，以停止将所述第一气体下游输送至所述汇流管，并使所述第一气体经由所述第一主管和所述第一旁路管循环输送；及

将第二气体，经由所述汇流管，下游输送至所述反应腔体，以完成气体切换。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括：

逆执行所述切换手段，以停止将所述第二气体下游输送至所述汇流管，使第一气体从所述循环输送回到下游输送。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，其中所述第一气体从所述循环输送回到下游输送的过程，使所述第一气体从封闭回路中的所述第一旁路管回到所述第一主管和所述汇流管形成的下游输送中，借此确保所有所述第一气体能够被所述反应腔体所利用。

11.根据权利要求10所述的方法，更包含：

将所述下游输送的气体流速和所述循环输送的气体流速保持一致，借此稳定切换前后的所述第一气体进入所述反应腔体的流速。