[发明专利]体声波谐振器在审
| 申请号： | 202111521017.8 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114172483A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李莎 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区藏龙岛*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括衬底，依次设于所述衬底上的反射结构、下电极、压电层和上电极；所述压电层包括中心区，所述中心区的中心轴与所述压电层的谐振区的中心轴重合；所述压电层中设有至少一个环绕所述中心区设置的空腔，所述空腔的侧壁相对于所述衬底的上表面呈倾斜状。本发明能够将侧向波转变为纵向波，以提高纵向波能量。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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