[发明专利]体声波谐振器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底，依次设于所述衬底上的反射结构、下电极、压电层和上电极；

所述压电层包括中心区，所述中心区的中心轴与所述压电层的谐振区的中心轴重合；所述压电层中设有至少一个环绕所述中心区设置的空腔，所述空腔的侧壁相对于所述衬底的上表面呈倾斜状。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述空腔在所述衬底上的正投影为闭合形状或非闭合形状。

3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述空腔包括多个孔洞；

所述多个孔洞在所述中心区的周向上间隔设置。

4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，不同所述空腔在垂直于所述衬底上表面方向上的长度相同或不同；不同所述空腔在平行于所述衬底上表面方向上的长度相同或不同；不同所述空腔的侧壁的倾斜角度相同或不同；任意相邻两个空腔构成空腔对，不同所述空腔对中的空腔间距相同或不同。

5.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其特征在于，所述空腔在平行于所述衬底上表面方向上的长度范围为大于0.05um，且小于10um；任意相邻两个空腔的间距范围为大于0.05um，且小于10um。

6.根据权利要求1至5任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电层还包括环绕所述中心区设置的调整区，所述空腔位于所述调整区内；

所述调整区与所述中心区的声阻抗不同，且所述调整区与所述中心区的第一交界面相对于所述衬底的上表面呈倾斜状。

7.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于，所述调整区包括多个环绕所述中心区设置的分区，至少一个所述分区中具有所述空腔；

所述中心区与其相邻的分区的声阻抗不同，任意相邻两个所述分区的声阻抗不同，且任意相邻两个所述分区的第二交界面相对于所述衬底的上表面呈倾斜状。

8.根据权利要求7所述的体声波谐振器，其特征在于，不同所述分区中所述空腔的数量相同或不同；不同所述分区中所述空腔在垂直于所述衬底上表面方向上的长度相同或不同；不同所述分区中所述空腔在平行于所述衬底上表面方向上的长度相同或不同；不同所述分区中所述空腔的侧壁的倾斜角度不同；不同所述分区中相邻两个空腔的间距相同或不同。

9.根据权利要求7所述的体声波谐振器，其特征在于，任意相邻两个分区中所述空腔的体积占比不同。

10.根据权利要求7所述的体声波谐振器，其特征在于，所述空腔中填充空气或与所在分区的声阻抗不同的材料。

11.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述至少一个空腔位于所述压电层的谐振区内；

或者，所述至少一个空腔部分位于所述压电层的谐振区内，其余部分位于所述压电层的谐振区外；

或者，所述至少一个空腔位于所述压电层的谐振区外。