[发明专利]一种带光路的匀胶机有效
| 申请号： | 202111514909.5 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114345643B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 孙杭州;孙斌 | 申请（专利权）人： | 江阴市纪泽万家科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C9/08;G01N21/31;G01N21/25;F24F3/14 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 江霞 |
| 地址： | 214400 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种带光路的匀胶机，包括匀胶机本体，匀胶机本体包括第一机座、第二机和涂膜工作基座，第二机座内部设有光路气路多用途旋转机构，第一机座的内腔顶部设有光源组件，涂膜工作基座内部的工作腔底部设有排气管。本发明可在旋涂过程中吸收光谱、荧光光谱和反射光谱的动态变化，用于跟踪溶剂挥发、溶剂退火、热退火过程中的材料相变，并在化学反应动力学、生化过程的跟踪检测方面具有优势，排气泵机通过多条对称设置的导气管使得排气管进行抽气工作，而由于排气管座顶部开设有呈圆环形的排气槽口，且排气管与涂膜工作基座的工作腔呈同轴度设置，排气过程中，排气均匀，不产生气流紊乱，保证基片上涂膜的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带光路 匀胶机 | ||
【主权项】：
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