[发明专利]一种带光路的匀胶机

说明书

本发明提出一种带光路的匀胶机，包括匀胶机本体，匀胶机本体包括第一机座、第二机和涂膜工作基座，第二机座内部设有光路气路多用途旋转机构，第一机座的内腔顶部设有光源组件，涂膜工作基座内部的工作腔底部设有排气管。本发明可在旋涂过程中吸收光谱、荧光光谱和反射光谱的动态变化，用于跟踪溶剂挥发、溶剂退火、热退火过程中的材料相变，并在化学反应动力学、生化过程的跟踪检测方面具有优势，排气泵机通过多条对称设置的导气管使得排气管进行抽气工作，而由于排气管座顶部开设有呈圆环形的排气槽口，且排气管与涂膜工作基座的工作腔呈同轴度设置，排气过程中，排气均匀，不产生气流紊乱，保证基片上涂膜的精度。

技术领域

本发明涉及匀胶机技术领域，尤其涉及一种带光路的匀胶机。

背景技术

钙钛矿和有机半导体薄膜在发光面板、光伏、半导体晶体管等领域具有广泛的应用，这些薄膜主要通过溶液旋涂、刮涂、丝网印刷、狭缝涂布等工艺实现，常见通常由匀胶机进行生产。在溶剂挥发过程中，材料从溶液态向薄膜固态逐步进行相转变，与之同时材料的光学特性，包括荧光光谱特性、吸收光谱特性、反射光谱特性均会随着溶剂的挥发而改变，而传统的匀胶机通常只能实现对有机半导体薄膜的制成，而无法对有机半导体薄膜形成的过程中进行材料光学特性的研究。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出一种带光路的匀胶机，以更加确切地解决上述所述在有机半导体薄膜形成的过程中进行材料光学特性研究的问题。

本发明通过以下技术方案实现的：

本发明提出一种带光路的匀胶机，包括匀胶机本体，所述匀胶机本体包括第一机座，第一机座顶部固定有第二机座，第二机座顶部固定有涂膜工作基座，涂膜工作基座的一侧通过一对合页连接有防反溅顶盖，防反溅顶盖配合罩设于涂膜工作基座上端口，涂膜工作基座与防反溅顶盖之间形成相对封闭的工作腔，所述第二机座内部设有光路气路多用途旋转机构，光路气路多用途旋转机构包括设置于第二机座内部的电动机，电动机中的电动转轴呈垂直向上贯穿至涂膜工作基座的工作腔中，所述第二机座的顶部通过螺栓连接有上支撑座，上支撑座配合支撑电动机的顶部，第二机座的底部通过螺栓连接有下支撑座，且下支撑座配合支撑电动机的底部，所述电动转轴的上端固定连接有吸盘安装座，吸盘安装座的上端通过螺栓连接有吸盘，所述第一机座的内腔顶部设有光源组件，光源组件对应设置在电动转轴的正下方位置，所述第二机座的一侧壁设有控制面板，所述涂膜工作基座内部的工作腔底部设有排气管。

进一步的，所述电动转轴为延伸出电动机上下端部的空心轴体，吸盘安装座、吸盘对应电动转轴的内部通道位置开设有光路气路混用通孔，电动转轴的下端连接有气转接头，气转接头配合固定于下支撑座内部，下支撑座内部开设有与气转接头相连通的排气内通道，且排气内通道的外端口通过管接件连接有排气泵机。

所述光源组件由通过螺栓固定于第一机座内腔顶部的光源安装座，光源安装座底部通过螺栓固定与光源发生器，且光源发生器的光源发射方向与电动转轴呈同轴度设置，光源发生器的发射光源沿电动转轴以及吸盘安装座、吸盘所设的光路气路混用通孔贯穿。

所述防反溅顶盖的顶部开设有监测窗口，且检测窗口的开口处通过螺栓固定连接有透光板。

所述防反溅顶盖顶部设有光纤信号收集设备，光纤信号收集设备的信号采集端设置于吸盘安装座、吸盘所设光路气路混用通孔的正上方。

所述控制面板上集合有位于外部的显示屏，且显示屏为可触控显示屏。

所述涂膜工作基座内部的工作腔为圆形内腔，且排气管为与涂膜工作基座的工作腔呈同轴度设置的圆环形气管体。

所述排气管由底部的排气管座以及顶部的排气管盖构成，排气管盖顶部开设有圆环形排气槽口，排气管座与排气管盖上一体成型有相对应的螺栓耳座，且其相对应设置的螺栓耳座通过螺栓螺母件固定，排气管座与排气管盖的贴合面之间设有密封胶垫。