[发明专利]一种透明薄片状缺陷的检测方法在审
| 申请号： | 202111505957.8 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114280080A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 郭东旭;宁威;米琳 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透明薄片状缺陷的检测方法，其中，包括以下步骤：提供一具有透明薄片状缺陷的检测样品；将所述检测样品置于暗场扫描机台中，并观察获得的扫描图像，转动所述检测样品，并改变所述暗场扫描机台的光源入射角，直至所述扫描图像噪点减少；改变所述光源的偏振参数，直至所述透明薄片状缺陷于所述扫描图像中亮度增强。本发明技术方案的有益效果为：可降低暗场扫描机台扫描图像的噪声，并增强透明薄片状缺陷的亮度，使透明薄片状缺陷可以被有效的检测到。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 薄片 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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