[发明专利]多层堆叠高宽带存储器封装方法及封装结构在审
| 申请号: | 202111496903.X | 申请日: | 2021-12-08 | 
| 公开(公告)号: | CN114203565A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 | 
| 发明(设计)人: | 杜茂华;吴明敏 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 | 
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/768;H01L23/31;H01L23/48;H01L25/065 | 
| 代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 李明;赵吉阳 | 
| 地址: | 226004 *** | 国省代码: | 江苏;32 | 
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| 摘要: | 本发明提供一种多层堆叠高宽带存储器封装方法及封装结构,该方法提供缓冲芯片和多个第一存储器芯片,以上芯片均设置有多个导电通孔。在第一存储器芯片的第一表面对应导电通孔处依次形成第一导电凸块和第二导电凸块。在第一存储器芯片的第二表面对应导电通孔处形成第一焊盘。通过热压焊工艺,将每相邻两个第一存储器芯片的第二导电凸块和第一焊盘嵌套,将多个第一存储器芯片依次绝缘堆叠在缓冲芯片上。通过回流焊工艺,将堆叠完成的多个第一存储器芯片和缓冲芯片回流焊接。形成塑封层,塑封层包裹多个第一存储器芯片和缓冲芯片。本发明通过两步焊接工艺,将第二导电凸块和第一焊盘相嵌套,可减小第二导电凸块的变形,实现超细间距的互连。 | ||
| 搜索关键词: | 多层 堆叠 宽带 存储器 封装 方法 结构 | ||
【主权项】:
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                    H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
                
            H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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