[发明专利]一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备在审
申请号: | 202111496004.X | 申请日: | 2021-12-08 |
公开(公告)号: | CN113968598A | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 胡青;徐杰;李哲轩 | 申请(专利权)人: | 迈达微(深圳)半导体技术有限公司 |
主分类号: | C02F1/04 | 分类号: | C02F1/04;C02F103/34 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 杨春;谢志龙 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备,包括:机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件;所述蒸发罐内设置有蒸发腔,所述蒸发腔内设置有旋转管,所述旋转管上设置有螺旋推进器;所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置,所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触,且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。本发明可实现药水废液蒸发过程中的搅拌,药水废液可从螺旋推进器上的导流孔内翻越,而螺旋推进器与蒸发腔的发热面之间的液体呈现湍流,提高了蒸发罐内的热交换效率,从而提高蒸发效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 蒸发 半导体 药水 废液 处理 设备 | ||
【主权项】:
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