[发明专利]一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备

权利要求书

1.一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。

2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，还包括：安装在所述机架上的积水槽、与所述积水槽连接的排水泵，所述积水槽通过管道与所述抽真空单元连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述螺旋推进器包括：螺旋固定板、设置在所述螺旋固定板上的若干桨叶，所述桨叶的一端与所述螺旋固定板连接，另一端与所述旋转管连接，所述导流孔设置在相邻两桨叶之间。

4.根据权利要求2所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述蒸发罐的一端上设置有观察窗，所述蒸发罐的出料端设置有排渣组件。

5.根据权利要求4所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述排渣组件包括：排渣管、设置在所述排渣管上的法兰和密封圈、设置在所述排渣管内的活塞、设置在所述排渣管一端的直线驱动装置。

6.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述冷凝单元包括：冷凝管、设置在所述冷凝管内的换热器，所述冷凝管的一端上设置有蒸汽进口，另一端上设置有冷却物出口；所述换热器的一端上设置有冷凝水进口，另一端上设置有冷凝水出口。

7.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述抽真空单元包括：真空箱、与所述真空箱连接的真空泵。

8.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，还包括：安装在所述机架上的电控柜，所述电控柜上设置有若干操作按钮。

9.根据权利要求4所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述蒸发罐、冷凝单元、除雾器、排渣组件的材料均为钛合金；所述抽真空单元、积水槽、排水泵的材料均为316L不锈钢。

10.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述加热件为电热丝加热片，且所述加热件贴合在所述蒸发罐上。