[发明专利]一种用于载板储存和转运的小车

摘要

本发明公开了一种用于载板储存和转运的小车，包括：密封设置的壳体，所述壳体底部设有移动机构，所述壳体内部设有机架，所述机架上设有动力机构、传送系统、托板机构和加热系统，所述托板机构用于承载载板，所述加热系统用于加热载板，使小车内部保持恒温，所述传送系统与动力机构连接，在动力机构的驱动下，传送系统用于将载板传送至托板机构或带离托板机构，以实现载板在小车上自动装卸。本发明的用于载板储存和转运的小车具有结构紧凑、使用方便、自动化程度高等优点，实现了载板在小车中自动装卸，同时还可以实现载板在小车中密封加热，避免了大气中粉尘颗粒及水汽等杂物对载板的侵入，减少了对硅片的污染，更有利于提升产品质量和性能。