[发明专利]光电探测器

摘要

本申请涉及集成电路技术领域，特别是涉及一种光电探测器。一种光电探测器包括：波导层；吸收层，所述吸收层位于所述波导层上表面或至少部分嵌入所述波导层内；包层材料，所述包层材料覆盖所述波导层及吸收层的顶部及侧壁；其中，所述光电探测器至少一端面为入光面，所述吸收层在临近所述入光面的端面的厚度小于其他部分的厚度。本申请通过吸收层在临近入光面的端面的厚度小于其他部分的厚度，进而使临近入光面部分的吸收的光能量小于吸收层其他部分吸收的光能量，进而减小光生载流子在光电探测器的本征区域的聚集程度，增加光生载流子聚集区域的电场强度，减小大光输入对光电探测器带宽和响应度性能的影响，最终提升光电探测器的大光输入阈值。