[发明专利]高深宽比纳米间隙多物理场耦合探测平台及探测方法在审
| 申请号： | 202111475636.8 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114235037A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 潘如豪;李俊杰;李国栋;刘求林;赵怀周;顾长志 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;H01L27/14;H01L21/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临;冯玉清 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种高深宽比纳米间隙多物理场耦合探测平台及其探测方法。本申请提出的高深宽比纳米间隙多物理场耦合探测平台包括第一导电件、第二导电件、以及微电极连线，其中，所述第一导电件和第二导电件之间具有深宽比介于1:1‑300:1，宽度为5‑100nm的纳米间隙，并且微电极连线分别连接所述第一导电件和所述第二导电件，用于向所述第一导电件和所述第二导电件之间的纳米间隙引入电信号。通过获得深宽比介于1:1‑300:1的纳米间隙和将多种物理信号引入所述纳米间隙中，高深宽比的纳米间隙大大提高了光的共振模式与电场有效范围，能够同时与光场、电场与磁场等多种物理场的至少两种发生相互作用。 | ||
| 搜索关键词： | 高深 纳米 间隙 物理 耦合 探测 平台 方法 | ||
【主权项】：
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