[发明专利]用于含银薄膜的蚀刻组合物在审
申请号: | 202111474948.7 | 申请日: | 2021-12-03 |
公开(公告)号: | CN114686237A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 朴种熙;金炯式;权五柄;南基龙;闵庚灿;李昔准;金英民;金镇亨;李东勋;林奎勋;张东玟 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司;东友精细化工有限公司 |
主分类号: | C09K13/06 | 分类号: | C09K13/06;C23F1/30;C23F1/44;C23F1/02;H01L27/32 |
代理公司: | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人: | 李英艳;冯志云 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于含银薄膜的蚀刻组合物,所述蚀刻组合物包括无机酸化合物、磺酸化合物、有机酸化合物、硝酸盐、金属氧化剂、氨基酸化合物以及水。 | ||
搜索关键词: | 用于 薄膜 蚀刻 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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