[发明专利]一种基于光刻胶材料的超构表面在审

专利信息
申请号: 202111465417.1 申请日: 2021-12-03
公开(公告)号: CN114047566A 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 文静;彭嘉;张大伟;吴双宝 申请(专利权)人: 上海理工大学
主分类号: G02B1/00 分类号: G02B1/00
代理公司: 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 代理人: 郑立
地址: 200093 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种基于光刻胶材料的超构表面,其特征在于,所述超构表面采用光刻胶材料构建,所述超构表面的基本结构为微纳阵列结构,所述微纳阵列结构由基本单元组成,所述超构表面由所述基本结构进行周期性延伸形成。与传统的由TiO2、Si或GaN等高折射率介电质材料组成的超构表面不同,本发明提供了一种由光刻胶材料组成的超构表面,经实验证明,在改变超构表面材料的前提下,也可以加工出亚微米级别高深宽比的结构阵列,且能达到由Si等传统材料构成超构表面所要实现的效果,拓宽了材料的选择性。
搜索关键词: 一种 基于 光刻 材料 表面
【主权项】:
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