[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板有效
申请号: | 202111445690.8 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN114156285B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 沈海燕;黄灿;鲜于文旭;张春鹏 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84;G09F9/33;G09F9/35 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨瑞 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板,阵列基板包括电极层、栅极绝缘层以及有源层,电极层包括层叠设置的第一金属层、第二金属层以及第三金属层,有源层的第一端与第一金属层电性连接,有源层的第二端与第三金属层电性连接,在第一金属层至第三金属层的方向上,第二金属层包括至少两个层叠设置的金属子层,相邻两个金属子层绝缘设置;本发明通过将构成电极层的第一金属层、第二金属层以及第三金属层层叠设置,并且将有源层的沟道设置在电极层的侧壁上,将第二金属层分为多个层叠设置的金属子层,可以通过对金属子层的厚度及数量进行调控,从而可以调控有源层的沟道的宽长比,达到灵活调节薄膜晶体管特性的目的。 | ||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的