[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板有效

专利信息
申请号: 202111445690.8 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN114156285B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 沈海燕;黄灿;鲜于文旭;张春鹏 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/84;G09F9/33;G09F9/35
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨瑞
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板,阵列基板包括电极层、栅极绝缘层以及有源层,电极层包括层叠设置的第一金属层、第二金属层以及第三金属层,有源层的第一端与第一金属层电性连接,有源层的第二端与第三金属层电性连接,在第一金属层至第三金属层的方向上,第二金属层包括至少两个层叠设置的金属子层,相邻两个金属子层绝缘设置;本发明通过将构成电极层的第一金属层、第二金属层以及第三金属层层叠设置,并且将有源层的沟道设置在电极层的侧壁上,将第二金属层分为多个层叠设置的金属子层,可以通过对金属子层的厚度及数量进行调控,从而可以调控有源层的沟道的宽长比,达到灵活调节薄膜晶体管特性的目的。
搜索关键词: 阵列 及其 制备 方法 显示 面板
【主权项】:
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