[发明专利]一种弹性波谐振器及多通带滤波器在审
| 申请号： | 202111437446.7 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114124021A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;房晓丽;张师斌;郑鹏程;周鸿燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 方秀琴;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请实施例所公开的一种弹性波谐振器及多通带滤波器，弹性波谐振器包括衬底、第一电极层、压电薄膜和第二电极层。其中，压电薄膜包括多个刻蚀区域和多个非刻蚀区域，刻蚀区域的深度与压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1)内，相邻两个刻蚀区域间的中心间距与压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1.25]内，第一电极层设置在衬底上，压电薄膜设置在第一电极层上，第二电极层设置在压电薄膜上，并以第二层电极为掩膜版对压电薄膜进行部分刻蚀。谐振器在较大的频率区间内可以获得多个无杂散模式、大机电耦合系数的谐振。基于本申请实施例通过调整压电薄膜的刻蚀尺寸和刻蚀深度，可以改变谐振频率和机电耦合系数，可搭建多通带滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 谐振器 多通带 滤波器 | ||
【主权项】：
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