[发明专利]一种弹性波谐振器及多通带滤波器在审
| 申请号： | 202111437446.7 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114124021A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;房晓丽;张师斌;郑鹏程;周鸿燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 方秀琴;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 谐振器 多通带 滤波器 | ||
1.一种弹性波谐振器，其特征在于，包括：衬底、第一电极层、压电薄膜和第二电极层；
所述压电薄膜包括多个刻蚀区域和多个非刻蚀区域，所述刻蚀区域的深度与所述压电薄膜厚度的比值在区间[0.4,1)内，相邻两个所述刻蚀区域间的中心间距与所述压电薄膜的比值在区间[0.4,1.25]内；
所述第一电极层设置在所述衬底上；
所述压电薄膜设置在所述第一电极层上；
所述第二电极层设置在所述压电薄膜的所述非刻蚀区域上。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述第一电极层的材料为铝、钨、铬、钛、铜、银、钼、金中至少一种。
3.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述第二电极层的材料为镍、钨、铬、钛、铝中至少一种。
4.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述压电薄膜的材料为铌酸锂或钽酸锂。
5.根据权利要求4所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述压电薄膜为X切型的铌酸锂或X切型的钽酸锂。
6.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述支撑衬底包括但不限于金刚石、碳化硅中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述弹性波谐振器为二维振动模式；
所述弹性波谐振器在X方向的特征尺寸为亚波长状态，所述弹性波谐振器在Z方向的特征尺寸为亚波长状态。
8.一种多通带滤波器，其特征在于，包括多个弹性波谐振器，所述弹性波谐振器为权利要求1-7任一项所述的弹性波谐振器，多个所述弹性波谐振器基于预设拓扑结构级联、桥接或耦合。
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