[发明专利]一种电容式柔性压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111431894.6 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114136504A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 王明浩;樊晔;徐嘉辉;金旻逸;程瑜华;王高峰 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学温州研究院有限公司;杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 陈炜 |
| 地址： | 325024 浙江省温州市龙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式柔性压力传感器及其制备方法。现有的电容式压力传感器虽然获得了较高的灵敏度，但是其结构鲁棒性和稳定性较差。本发明涉及电容式柔性压力传感器的单片微加工制备与阵列集成。该压力传感器主要由一对具有特定间隙的平行电极板和位于极板中间的倒梯形介质层构成。通过采用单面微加工技术在柔性聚合物衬底上单片集成电容器的上下极板和介电层，提高了器件制备的可靠性和一致性；通过采用倒梯形的介质层结构设计，增大了电极板在受压下的机械形变和恢复速度，提高了柔性压力传感器的灵敏度和响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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