[发明专利]一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法

摘要

本发明是一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法，其特征是在柔性衬底PEN（1）上真空溅射氧化铟锡阳极（2），接着再真空匀速蒸镀p‑6P异质层（3），在90℃下先以0.1 nm/min速度再以0.2 nm/min速度真空蒸镀α‑6T异质层（4），然后构成直立于衬底生长的圆柱形结构，在120℃下真空低速沉积ZnPc（5）在p‑6P异质层（3）和α‑6T异质层（4）诱导下取向生长构成圆柱形纳米晶体结构，最后采用真空蒸镀金属银阴极（6）构成柔性衬底的垂直二极管的气体传感器。该气体传感器具有柔性，圆柱形纳米晶体结构有利于NO2气体（7）的吸附与解吸附，具有快速响应/回复的优点。