[发明专利]一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法

权利要求书

1.一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法，其特征在于，器件结构包括：柔性衬底PEN（1），氧化铟锡阳极（2），p-6P异质层（3），α-6T异质层（4），ZnPc（5），金属银阴极（6）。

2.根据权利要求1所述的一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法，其特征在于，柔性衬底（1）采用聚乙烯奈树脂（PEN）。

3.根据权利要求1所述的一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法，其特征在于，采用真空溅射氧化铟锡阳极（2）和真空蒸镀金属银阴极，厚度为150-200 nm之间。

4.根据权利要求1所述的一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法，其特征在于，p-6P异质层（3）真空匀速蒸镀，蒸速为0.2 nm/min，衬底温度为90 ℃，厚度为5nm。

5.根据权利要求1所述的一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法，其特征在于，p-6P异质层（3）真空匀速蒸镀，蒸速为0.2 nm/min，衬底温度为90 ℃，厚度为5nm。

6.根据权利要求1所述的一种基于柔性衬底的垂直二极管的气体传感器的制备方法，其特征在于，采用真空沉积ZnPc（5）使其在p-6P异质层（3）和α-6T异质层（4）上诱导取向生长形成圆柱形纳米晶体结构，衬底温度为120 ℃，厚度为30 nm。