[发明专利]激光调控纳米压印对准装置及调控方法在审
| 申请号： | 202111414805.7 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114019769A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 罗刚 | 申请（专利权）人： | 罗刚 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 陆颖 |
| 地址： | 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种激光调控纳米压印对准装置以及调控方法，所述激光调控纳米压印对准装置包括壳体，设于壳体内的第一调准组件和第二调准组件以及检测组件。第一调准组件包括第一调准板和第一调节结构，第一调准板在第一调节结构的作用下可在x、y以及z方向上移动。第二调准组件包括第二调准板和第二调节结构，第二调准板在第二调节结构的作用下可在z方向上移动。检测组件包括发射器组，探测器组以及检测器组。其中，在第一调准板与第二调准板平行对准时，发射器组发射的紫外激光束可依次穿过第一调准板、探测器、第二调准板，被检测器组接收。本发明的激光调控纳米压印对准装置，对准精度高，适用性高。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 调控 纳米 压印 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗刚，未经罗刚许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111414805.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：事件预测模型的构建方法、事件预测模型及应用
- 下一篇：自清洁容器
