[发明专利]一种压印设备中薄膜平行度控制方法及装置在审
| 申请号： | 202111411872.3 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114153139A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 程晓亮;刘炳坤;刘海玲;高臣 | 申请（专利权）人： | 天津市英贝特航天科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42;G03F7/00;B29C59/04;B29C37/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 天津市尚文知识产权代理有限公司 12222 | 代理人： | 徐杨阳 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区自*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请提供一种压印设备中薄膜平行度控制方法和装置，该方法包括：获取薄膜运行过程中的偏差信号作为输入变量，判断该偏差信号中的系统偏差是否小于预设偏差阈值；若是，则对预设时间段内的输入变量进行积分，根据积分结果获取偏差控制量，通过所述偏差控制量消除偏差；若否，则定义输入输出模糊集，根据该输入输出模糊集求解输入输出变量的模糊划分表；根据该模糊划分表和预先设置的模糊计算规则确定模糊关系矩阵；将输入变量输入到模糊关系矩阵并求解模糊控制量，通过所述模糊控制量和偏差控制量消除偏差。本申请通过模糊算法计算薄膜运行过程中不断产生的误差，有效消除了通过数学公式进行控制量计算带来的累计误差，提高平行度控制稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压印 设备 薄膜 平行 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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