[发明专利]一种用于热表面电离质谱的灯丝碳化装置及方法有效
| 申请号： | 202111410245.8 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114093746B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 罗立力;刘雪梅;汤磊;卜文庭;郝樊华 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/00;G01N27/626 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 仲万珍 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于热表面电离质谱灯丝碳化装置及方法，该装置包括：反应腔室、真空单元、气源、温度测量单元、真空测量单元、灯丝供电单元和圆形挡板，本发明所提供的碳化装置采用了气流分布均匀性设计，在灯丝支架的一端设置圆形挡板，另一端设置气氛入口，利用微漏阀精确控制进气压力，在保证气流均匀性和稳定性的同时，进一步降低了反应气体的消耗量，降低了应用于碳化的碳氢类有毒有害气体的排放；还采用了温度精确控制灯丝碳化反应的设计，保证了不同批次灯丝渗碳效果的均匀性，进一步提升了碳化工艺的可重复性，为超痕量锕系同位素的高精度质谱分析提供了可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 表面 电离 灯丝 碳化 装置 方法 | ||
【主权项】：
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