[发明专利]一种分级式歧管微通道散热装置在审
| 申请号: | 202111408691.5 | 申请日: | 2021-11-24 |
| 公开(公告)号: | CN114141733A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
| 发明(设计)人: | 张永海;马祥;杨欣宇;魏进家 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
| 主分类号: | H01L23/46 | 分类号: | H01L23/46;H01L23/367 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 贺小停 |
| 地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种分级式歧管微通道散热装置,主要包括一级微通道、二级微通道、三级微通道和底板部分。通过键合技术将四层通道封装起来,工质进、出口均位于顶部,可以根据换热面积增加微通道和歧管通道的数量。换热工质经过一级微通道和二级微通道流入三级微通道,由最初的两个入口分裂成最后的八个入口流向模拟芯片表面,工质均匀的分布提升了模拟芯片表面温度分布均匀性。换热后的工质在经过三级微通道和二级微通道汇入一级微通道,最终由两个一级微通道汇集到中间的出口位置流出。流道被分段成多个微小通道单元,流动长度缩短使得压降减小,热边界层难以在微通道中发展,有利于提高换热系数和降低总热阻。本发明具有占地面积小、低功耗、散热能力大的优点,可用于满足超过热流密度的散热需求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 分级 歧管 通道 散热 装置 | ||
【主权项】:
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