[发明专利]气敏器件在审
| 申请号： | 202111376473.8 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114518388A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | M·迈耶;W·布罗伊尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/22;G01N27/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 马明月 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的各实施例涉及气敏器件。公开了一种气敏器件(10)。该气敏器件包括衬底结构(20)和气敏电容器，该气敏电容器包括在绝缘层(30)的第一主表面区域上呈气敏层(45)形式的第一电容器电极(40)以及在绝缘层(30)下方呈埋入导电区域形式的第二电容器电极(60)，使得绝缘层(30)布置在第一电容器电极(40)与第二电容器电极(60)之间；其中气敏层(45)包括响应于气体分子的吸附或解吸而变化的薄层阻抗。还描述了一种用于操作气敏器件(10)的方法。此外，公开了一种包括一个或多个气敏器件的多气体传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111376473.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：压印辊及其制造方法
- 下一篇：存储控制器和包括存储控制器的存储设备
