[发明专利]气敏器件在审
申请号: | 202111376473.8 | 申请日: | 2021-11-19 |
公开(公告)号: | CN114518388A | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | M·迈耶;W·布罗伊尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;G01N27/22;G01N27/02 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 马明月 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开的各实施例涉及气敏器件。公开了一种气敏器件(10)。该气敏器件包括衬底结构(20)和气敏电容器,该气敏电容器包括在绝缘层(30)的第一主表面区域上呈气敏层(45)形式的第一电容器电极(40)以及在绝缘层(30)下方呈埋入导电区域形式的第二电容器电极(60),使得绝缘层(30)布置在第一电容器电极(40)与第二电容器电极(60)之间;其中气敏层(45)包括响应于气体分子的吸附或解吸而变化的薄层阻抗。还描述了一种用于操作气敏器件(10)的方法。此外,公开了一种包括一个或多个气敏器件的多气体传感器。 | ||
搜索关键词: | 器件 | ||
【主权项】:
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