[发明专利]气敏器件

权利要求书

1.一种气敏器件(10)，包括：

衬底结构(20)，以及

气敏电容器，所述气敏电容器包括：

第一电容器电极(40)，在绝缘层(30)的第一主表面区域上呈气敏层(45)形式，以及

第二电容器电极(60)，在所述绝缘层(30)下方呈埋入导电区域形式，使得

所述绝缘层(30)布置在所述第一电容器电极(40)与所述第二电容器电极(60)之间；其中

所述气敏层(45)包括响应于气体分子的吸附或解吸而变化的薄层(电阻)阻抗。

2.根据权利要求1所述的气敏器件(10)，其中所述气敏器件(10)包括：

第一接触区域(50)，用于电接触所述第一电容器电极(40)，以及

第二接触区域(70)，用于电接触所述第二电容器电极(60)。

3.根据权利要求1或2所述的气敏器件(10)，其中所述第一电容器电极(40)竖直地相对于所述第一主表面区域的投影与所述第二电容器电极(60)至少部分或完全重叠。

4.根据权利要求2或3所述的气敏器件(10)，其中所述第一接触区域(50)至少部分或完全围绕并且电接触所述第一电容器电极(40)。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的气敏器件(10)，其中所述第一接触区域(50)与所述第一电容器电极(40)形成面接触区域或点接触区域，或者所述第二接触区域(70)与所述第二电容器电极(60)形成面接触区域或点接触区域。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的气敏器件(10)，其中在所述绝缘层(30)之上设置有覆盖层(25)，使得所述覆盖层(25)与所述第一接触区域(50)和/或所述第一电容器电极(40)具有至少一个公共平面，使得所述覆盖层(25)在所述至少一个公共平面中围绕所述第一接触区域(50)或者围绕所述第一接触区域(50)和所述第一电容器电极(40)。

7.根据权利要求6所述的气敏器件(10)，其中所述第一接触区域(50)从所述至少一个公共平面中的所述第一电容器电极(40)延伸到所述覆盖层(25)上方的位置，所述位置至少在平行于所述至少一个公共平面的平面中。

8.根据权利要求2的气敏器件(10)，其中所述第二接触区域(70)耦合到所述第二电容器电极(60)，其中

所述第二接触区域(70)和所述第二电容器电极(60)被布置在所述气敏器件(10)的同一平面中，和/或其中

所述第二接触区域(70)和所述第二电容器电极(60)被布置在所述气敏器件(10)的不同平面中。

9.根据权利要求8所述的气敏器件(10)，其中所述第一接触区域(50)接触所述第一电容器电极(40)的第一边界区域，和/或所述第一接触区域(50)接触所述第一电容器电极(40)的中央区域。

10.根据权利要求8或9中任一项所述的气敏器件(10)，其中所述第二电容器电极(60)电容性地接触所述第一电容器电极(40)的第二边界区域。

11.根据前述权利要求中任一项所述的气敏器件(10)，其中所述绝缘层(30)的具有所述气敏层(45)的所述第一主表面区域是无拓扑结构的。

12.根据前述权利要求中任一项所述的气敏器件(10)，其中所述第一电容器电极(40)和所述第二电容器电极(60)被布置为彼此平行并且相对于所述绝缘层(30)的所述第一主表面区域是竖直的。

13.根据前述权利要求中任一项所述的气敏器件(10)，其中第三电容器电极(65)与所述第二电容器电极(60)分开设置，其中所述第三电容器电极(65)和所述第二电容器电极(60)被定位为使得所述第三电容器电极(65)和所述第二电容器电极(60)两者沿着至少一个公共平面延伸。