[发明专利]一种用于晶圆外延生长的晶圆支撑杆装置、设备及方法在审
| 申请号： | 202111362304.9 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114059158A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 孙毅;王力;俎世琦 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;王渝 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于晶圆外延生长的晶圆支撑杆装置、设备及方法；所述晶圆支撑杆装置包括：晶圆支撑杆以及套筒组件；其中，所述晶圆支撑杆与所述套筒组件相套接，且所述晶圆支撑杆沿所述套筒组件的轴向方向能够往复移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外延 生长 晶圆支 撑杆 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
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