[发明专利]一种用于盘、饼状工件外缘金刚石涂层的装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于盘、饼状工件外缘金刚石涂层的装置及方法，通过设置冷却装夹轴，并控制冷媒在冷却装夹轴内的流量、压力等因素，以影响金刚石涂层过程中金刚石生长的温度梯度，从而让金刚石有效的生长；通过设置动力系统，并与热丝、冷却装夹轴配合，可以让工件旋转运动，从而解决涂层不均匀迹象；可以根据盘、饼类薄形工件形状、大小的不同，设置不同热丝，以及进行热丝的不同布设位置和方式，可以提高沉积效率。