[发明专利]具有纳米腔的集成生物感测器及其制作方法在审
| 申请号： | 202111354151.3 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN114203741A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 钟泽伟;周宗辉;林哲宏;吕绍炜;林晓珮 | 申请（专利权）人： | 亿明达股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146;G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种具有纳米腔的集成生物感测器及其制作方法，该生物感测器包含有一基底，其上设有一光感测区。在基底上设有一第一介电层、一扩散阻挡层、一第二介电层。第二介电层中设有一沟槽凹陷结构，其内设有一滤光材料层，被一上盖层封盖住。上盖层上设有一第一钝化层以及一纳米腔结构层，其中于纳米腔结构层中，设有一纳米腔。在纳米腔的侧壁及底部设有一第二钝化层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 纳米 集成 生物 感测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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