[发明专利]获取光栅结构数据的方法、装置及可读存储介质在审
| 申请号： | 202111349326.1 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114169224A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 刘艺;朱春霖;董立超;刘宝山;金成滨;代杰;吾晓;饶轶 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/27 | 分类号： | G06F30/27;G06N3/04;G06N3/08;G06F111/14 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王莹辉 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种获取光栅结构数据的方法、装置及可读存储介质，该方法包括：获取待测光栅的第一衍射效率数据，其中，所述第一衍射效率数据通过检测得到；根据目标模型和所述第一衍射效率数据，获得所述待测光栅的第一光栅结构数据；其中，所述目标模型为根据设定光栅的第二光栅结构数据和第二衍射效率数据对设定模型的模型参数进行调整所得到的模型，所述待测光栅和所述设定光栅的光栅类型相同，所述第二光栅结构数据和所述第二衍射效率数据均通过检测得到，根据所述第二光栅结构数据和所述目标模型获得的衍射效率数据与所述第二衍射效率数据符合设定匹配要求。 | ||
| 搜索关键词： | 获取 光栅 结构 数据 方法 装置 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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