[发明专利]一种基于热收缩的纳米金属过孔互连方法

摘要

本发明公开一种基于热收缩的纳米金属过孔互连方法，包括以下步骤：(1)采用张紧装置，使得基板处于拉应力的状态；(2)将纳米金属颗粒填充到基板的通孔中，直到纳米金属颗粒充满整个通孔；(3)在可控气体下，对基板进行升温烧结；在烧结的过程中，通过张紧装置使得拉应力逐渐减小，基板逐渐收缩，对通孔中的纳米金属颗粒进行挤压；(4)对填充完成的基板表面进行打磨或者抛光处理。该方法该热收缩的条件下，对纳米金属进行挤压，使得填充的纳米金属颗粒具有较高的致密性，减少了填孔中加工缺陷，使得纳米金属结构稳定，提高了纳米金属的导电与导热性能；且该方法操作简单、效率更高，还能减少环境污染。