[发明专利]一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统在审
| 申请号： | 202111318372.5 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114032617A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 陈有生;贺贤汉;赖章田;张城;夏孝平;徐淑文 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶生长炉领域。一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括晶体生长炉，晶体生长炉包括机架，机架上安装有升降机构，机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；热场组件包括基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，基座与升降机构的升降架可拆卸连接；基座上滑动连接有滑动支撑架，滑动支撑架上安装有托板，托板上安装有热场坩埚；机架的左端开设有用于滑出滑动支撑架的滑出口，滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，辅助滚轮包括承力托板、滚轮安装板以及滚轮，承力托板与滚轮安装板之间通过弹性机构相连，滚轮安装板上安装有滚轮。本专利给予了一种自动化装料或者取单晶的动作系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 装料 晶体 动作 系统 | ||
【主权项】：
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