[发明专利]一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统

权利要求书

1.一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括一晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉包括一机架，所述机架上安装有用于带动热场组件升降的升降机构，所述机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；

所述热场组件包括一基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，所述基座与所述升降机构的升降架可拆卸连接；

所述基座上滑动连接有所述滑动支撑架，所述滑动支撑架上安装有所述托板，所述托板上安装有所述热场坩埚；

所述基座上设有用于限制所述滑动支撑架运动至左极限位置的左极限位置限位机构以及用于限制所述滑动支撑架运动至右极限位置的右极限位置限位机构；

所述机架的左端开设有用于滑出所述滑动支撑架的滑出口，所述滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，所述辅助滚轮包括一承力托板、滚轮安装板以及滚轮，所述承力托板与所述滚轮安装板之间通过弹性机构相连，所述滚轮安装板上安装有所述滚轮。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：装料或者取晶体时，首先，滑动支撑架位于右极限位置，升降机构位于上极限开关位置，升降机构下降，带动热场组件下降至下极限开关位置后，滑动架向左滑出到左极限位置，进行装料或者取晶体动作；

完成装料或者取晶体动作后，滑动支撑架向右滑动到右极限位置，升降机构从下极限开关位置上升至上极限开关位置，此时，托板与单晶生长炉的腔室安装法兰对接围成一空腔。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述弹性机构包括两个矩形弹簧，所述滚轮安装板上设有两个竖直设置的支撑杆，所述支撑杆上套设有所述矩形弹簧，所述承力板上穿过所述支撑杆，所述支撑杆的顶部螺纹连接有锁紧螺母；

所述滚轮安装板上还螺纹连接有四个固定螺钉，所述承力板上开设有滑动连接所述固定螺钉的导向孔。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述滑动支撑架上通过浮动机构连接有所述托板；

所述浮动机构包括四个弹簧以及浮动架，所述滑动支撑架的四个角部与所述浮动架的四个角部开设有用于滑动连接导向轴的穿孔；

所述导向轴的上端以及下端均安装有锁紧件；

所述导向轴上套设有弹簧，所述弹簧的上下两端分别与所述浮动架以及所述滑动支撑架相抵，所述浮动架上通过立柱连接有所述托板；

所述浮动架上安装有定位销。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述导向轴设有四个，四个导向轴中位于对角的导向轴可拆卸连接有所述定位销。

6.根据权利要求4所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述浮动架上安装有热场支撑杆，所述浮动架上还安装有驱动热场支撑杆旋转的旋转驱动机构。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述滑动支撑架上安装有一推拉手柄。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述滑动支撑架设有向左延伸的延伸架，所述延伸架上安装有所述辅助滚轮。

9.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述升降机构包括两个前后并排设置的丝杆，两个丝杆联动，所述升降机构的升降架上安装有与所述丝杆螺纹连接的螺母；

所述升降机构的升降架包括两个前后设置的支撑板，两个支撑板上均安装有所述螺母；

所述基座的前后两端均安装有两个左右设置的立柱，两个立柱与同侧的支撑板的左右两端可拆卸连接。

10.根据权利要求9所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述机架上安装有调心轴承座，所述调心轴承座与所述丝杆的底部相连。