[发明专利]一种表面缺陷的检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202111313558.1 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN114047190A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张鹏黎 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孔凡红 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种表面缺陷的检测装置及检测方法，通过扫描运动台带动待测物沿检测方向运动，光束出射模块向待检测物提供入射偏振光束，光束调节模块调整入射偏振光束到达检测物的表面同时将待测物表面反射的反射偏光束传播至检偏模块，检偏模块包括多个偏振方向不同的检偏器，不同检偏器将处于不同位置的待测物表面反射的反射偏振光束转换为偏振方向不同的检测偏振光束，探测模块接收各检偏器转换的检测偏振光束，并根据各检测偏振光束生成与各检偏器一一对应的偏振图像，根据各偏振图像确定待测物表面的缺陷信息，该装置结构简单、成本低，检测时间短，待测物表面形貌信息采集全面，可以有效提高生产流水线上的检测效率和缺陷检测准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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