[发明专利]一种表面缺陷的检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种表面缺陷的检测装置，其特征在于，包括：光束出射模块、光束调节模块、检偏模块、探测模块和扫描运动台；

所述扫描运动台用于承载待测物，并控制所述待测物沿第一方向进行运动；

所述光束出射模块用于提供入射偏振光束；

所述光束调节模块用于控制所述入射偏振光束投射至所述待测物的表面，并将所述入射偏振光束经由所述待测物的表面反射后的反射偏振光束传播至所述检偏模块；

所述检偏模块包括沿所述第一方向排列的至少两个检偏器；不同所述检偏器将处于不同位置的所述待测物的表面反射的所述反射偏振光束转换为检测偏振光束；其中，不同所述检偏器转换的检测偏振光束的偏振方向不同；

所述探测模块用于接收各所述检偏器转换的所述检测偏振光束，并根据各所述检测偏振光束，生成与各所述检偏器一一对应的偏振图像，以根据各所述偏振图像，确定所述待测物表面的缺陷信息。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光束调节模块包括分光镜；所述分光镜位于所述入射偏振光束的传播路径上，且所述分光镜还位于所述反射偏振光束的传输路径上。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括聚焦模块；

所述光束调节模块、所述聚焦模块、所述检偏模块和所述探测模块依次排列，所述聚焦模块将经所述待测物的表面反射后的反射偏振光束聚焦后传播至所述检偏模块。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述探测模块包括沿所述第一方向排列的至少两个线阵探测器；所述线阵探测器与所述检偏器一一对应设置；

其中，各所述线阵探测器一一对应的采集各所述检偏模块转换的检测偏振光束，并根据各所述检偏模块转换的检测偏振光束，生成与各所述检偏器一一对应的偏振图像。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括线阵运动台；所述探测模块包括一线阵传感器；

所述线阵运动台与所述线阵传感器电连接，并控制所述线阵传感器沿所述第一方向依次运动到与各个所述检偏器一一对应设置处；

其中，所述线阵运动台与所述扫描运动台沿所述第一方向同速率运动；所述线阵探测器依次采集各所述检偏模块转换的检测偏振光束，并根据各所述检偏模块转换的检测偏振光束，依次生成与各所述检偏器一一对应的偏振图像。

6.一种表面缺陷的检测方法，其特征在于，应用于上述权利要求1-5任一项所述的表面缺陷的检测装置，所述检测方法包括：

所述扫描运动台带动所述待测物沿第一方向进行运动；

所述光束出射模块提供入射偏振光束；

所述光束调节模块控制所述入射偏振光束投射至所述待测物的表面，并将所述入射偏振光束经由所述待测物的表面反射后的反射偏振光束传播至所述检偏模块；

所述检偏模块将处于不同位置的所述待测物的表面反射的所述反射偏振光束转换为检测偏振光束；其中，不同所述检偏器转换的检测偏振光束的偏振方向不同；

所述探测模块接收各所述检偏器转换的所述检测偏振光束，并根据各所述检测偏振光束，生成与各所述检偏器一一对应的偏振图像，以根据各所述偏振图像，确定所述待测物表面的缺陷信息。

7.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括聚焦模块；

所述光束调节模块控制所述入射偏振光束投射至所述待测物的表面，并将所述入射偏振光束经由所述待测物的表面反射后的反射偏振光束传播至所述检偏模块，包括：

所述光束调节模块控制所述入射偏振光束投射至所述待测物的表面，并将所述入射偏振光束经由所述待测物的表面反射后转换为反射偏振光束；所述反射偏振光束经所述聚焦模块聚焦后传播至所述检偏模块。