[发明专利]以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法在审
| 申请号： | 202111311111.0 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN116081575A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 甘晋荣 | 申请（专利权）人： | 杭州瑞佑科技有限公司;绿升国际股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19;C01B21/46 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 谢琼慧;秦小耕 |
| 地址： | 310019 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法，在含有氢氟酸、硝酸及水的废氢氟酸液中投入含有碱金属氟化盐及碱金属硝酸盐的碱金属盐，破坏氢氟酸与水的共沸现象进而精馏分离出氟化氢蒸气，馏余物为硝酸、水、碱金属硝酸盐及碱金属氟化盐形成的混合溶液。再从混合溶液中将硝酸与水蒸发出来形成硝酸‑水混合液，在硝酸‑水混合液中投入碱土金属硝酸盐，破坏硝酸与水的共沸现象进而精馏分离出硝酸。分离得到的氟化氢蒸气及硝酸蒸气分别依序去除含杂质的雾滴、冷凝后加超纯水调浓，制得符合半导体产业所要求纯度标准的电子级氢氟酸及电子级硝酸。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氟酸 原料 制备 电子 无机酸 方法 | ||
【主权项】：
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