[发明专利]凋零模式结构微机械滤波器在审
| 申请号： | 202111306761.6 | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN114094979A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 张韶华;王胜福;李宏军;周少波;周明齐;孙涛;朱毅凡;于亮;汪晓龙;王小维;汤晓东;张俊杰;温鹏浩;齐明岩;岳晓平 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H03H9/46 | 分类号： | H03H9/46 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张一 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种凋零模式结构微机械滤波器，属于半导体封装技术领域，包括上介质层以及下介质层，上介质层设有上层接地金属化通孔、信号馈入部分和信号馈出部分；下介质层键合于上介质层的下面，下介质层设有下层接地金属化通孔和下层电磁屏蔽金属化通孔，下层电磁屏蔽金属化通孔作为凋零模式谐振柱；信号馈入部分和信号馈出部分与凋零模式谐振柱之间不通过物理连通；上介质层和下介质层通过上层接地金属化通孔和下层接地金属化通孔实现共地。本发明将凋零模式结构与微机械滤波器相结合，将MEMS工艺应用到凋零模式结构中，并将谐振耦合结构进行变形和重构，具备窄带宽和超宽带全面覆盖、体积小、相位一致性高、谐波抑制远、Q值高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 凋零 模式 结构 微机 滤波器 | ||
【主权项】：
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