[发明专利]一种MEMS谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 202111305252.1 | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN114172487B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 朱浩慎;田钰鹏;薛泉 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02;H03H3/007 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 郑宏谋 |
| 地址： | 510641 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明申请公开了一种MEMS谐振器及其制备方法，采用由直流偏置、T型锚结构和压阻梁组合的压阻换能器，具有锚损耗低的优势，同时使得用于压阻换能的压阻梁不作支撑功能，能通过减小压阻梁的宽度提高压阻换能效率；通过T型锚结构的横梁连接两个负电极，并通过压阻梁与正电极连通，使得设置于谐振体上的压阻换能器中的偏置电流不会流经谐振体，防止焦耳热效应导致的谐振体温度升高，从而避免了因温度升高导致的谐振体弹性系数改变，缓解了谐振频率的偏移程度；同时，由于偏置电流不会流经谐振体，使得电流通路的长度较短，进而降低了总功耗，可广泛应用于微电子技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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