[发明专利]一种基于掺杂二维卤化物钙钛矿薄膜忆阻器及其制备方法有效
申请号: | 202111294979.4 | 申请日: | 2021-11-03 |
公开(公告)号: | CN114023877B | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 王红军;张韩宇;朱媛媛;魏红 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
主分类号: | H10N70/20 | 分类号: | H10N70/20 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 高博 |
地址: | 710021*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于掺杂二维卤化物钙钛矿薄膜忆阻器及其制备方法,选择衬底,并在其上沉积导电薄膜作为底电极;在底电极上进行氧化物纳米颗粒掺杂二维卤化物钙钛矿成膜,作为阻变器件的存储层;在阻变存储层上沉积导电薄膜作为顶电极。本发明方法制备的基于掺杂二维卤化物钙钛矿薄膜忆阻器,结构简单,具有较高的稳定性,材料来源广泛,具有成本低,制备工艺简单的优点,有利用规模化应用,具有良好的市场应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 掺杂 二维 卤化物 钙钛矿 薄膜 忆阻器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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