[发明专利]化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置

摘要

一种化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置包括：上中下三层机构，上层机构包括定位调节模组和第一滑轨。中层机构包括中层底板和定位调节驱动模组。中层底板顶面设置第一滑轨，定位调节模组和第一滑轨滑动连接。定位调节模组用于获取位置信息，并通过移动实现与探针模组和/或负压模组连接。中层底板底面上设置至少两个能够驱动定位调节模组往复移动的定位调节驱动模组。下层机构包括支撑机构和顶升机构。顶升机构用于顶升中层机构，并实现定位调节模组与探针模组和/或负压模组连接。自动定位调节装置能够实现探针负压模组快速自动定位以及位置调整，不需要记忆上次操作的位置信息，并且还便于操作、更加高效。