[发明专利]化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置

权利要求书

1.一种化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，自动定位调节装置包括：上层机构、中层机构和下层机构；

所述上层机构包括定位调节模组和第一滑轨；所述中层机构包括中层底板和定位调节驱动模组；

所述中层底板顶面的两端上分别设置相互平行的第一滑轨，所述定位调节模组位于所述第一滑轨上，并能够相对所述第一滑轨往复滑动；所述定位调节模组用于扫描化成分容针床上探针模组和负压模组的位置信息，并通过移动实现与所述探针模组和/或所述负压模组连接；所述中层底板的底面上设置至少两个能够驱动所述定位调节模组往复移动的定位调节驱动模组；

所述下层机构包括支撑机构和位于所述支撑机构上的顶升机构；所述顶升机构用于顶升所述中层机构以及所述中层机构上的所述上层机构，并实现所述上层机构上的所述定位调节模组与所述探针模组和/或所述负压模组连接；所述中层机构能够相对所述支撑机构上下移动。

2.如权利要求1所述的化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，所述定位调节模组包括至少两个传感器，所述传感器用于获取所述探针模组和所述负压模组的位置信息；所述自动定位调节装置还包括：通讯接口和控制器；所述通讯接口用于所述自动定位调节装置的电源输入和数据信息的输入输出；所述控制器和所述传感器连接，用于获取并处理所述传感器的所述位置信息；所述控制器和所述定位调节驱动模组连接，用于控制所述定位调节驱动模组的工作状态；所述控制器和所述顶升机构连接，用于控制所述顶升机构的工作状态。

3.如权利要求2所述的化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，所述自动定位调节装置还包括上位机，所述上位机和所述控制器连接，用于向所述控制器发送启动信号和所述化成分容针床上电池的型号，并能够接收所述控制器的信息。

4.如权利要求2所述的化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，所述定位调节模组还包括锁紧件和至少两个定位板，所述定位板底面的两端分别位于所述中层底板顶面两端上分别设置的所述第一滑轨上，并能够相对所述第一滑轨往复移动；所述定位板顶面的两端分别设置所述锁紧件，所述锁紧件用于实现和所述化成分容针床的锁紧机构连接；所述定位板上的任意一个所述锁紧件上设置所述传感器。

5.如权利要求4所述的化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，所述定位调节模组还包括连接板，所述连接板能够连接至少两个定位板；和所述连接板连接的所述定位板能够同步移动，并且和所述化成分容针床连接的部件相同。

6.如权利要求1所述的化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，所述定位调节驱动模组包括第一驱动件、第一传动轴、移动块以及第一传动轴螺母；所述第一驱动件用于驱动所述第一传动轴转动，所述第一传动轴穿过所述第一传动轴螺母和所述移动块；所述第一传动轴螺母和所述移动块连接，所述移动块和所述定位调节模组连接，所述第一传动轴用于将转动转为所述移动块的移动。

7.如权利要求1所述的化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，所述支撑机构包括下层底板以及固定在所述下层底板上的多个导向杆；所述中层底板穿过所述导向杆，并能够在所述导向杆上移动；所述中层底板的底面上设置多个滚轮，所述滚轮能够在所述顶升机构上滚动。

8.如权利要求7所述的化成分容针床探针负压模组快速自动定位调节装置，其特征在于，所述支撑机构还包括限位连接杆，所述限位连接杆和所述下层底板之间设有所述导向杆，所述限位连接杆的两端分别连接所述导向杆。