[发明专利]一种适用于室内发电的硅异质结太阳电池结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种适用于室内发电的硅异质结太阳电池结构及其制备方法。所述电池结构包括单晶硅基底，所述单晶硅基底的第一表面上依次叠设有第一本征非晶硅层、第一掺杂非晶硅层，第二表面上依次叠设有第二本征非晶硅层、第二掺杂非晶硅层；所述第一本征非晶硅层具有第一区域和环绕第一区域的第二区域，所述第一区域的厚度大于第二区域的厚度，而使第一区域与第二区域配合形成第一台阶结构，且第一区域的厚度足以使由所述第一掺杂非晶硅层在所述单晶硅基底中诱导出的反型层终止在单晶硅基底内部；其中，所述第一掺杂非晶硅层、反型层是第一导电类型的，所述单晶硅基底和第二掺杂非晶硅层是第二导电类型的。本发明中的太阳电池结构，光电转化效率高。