[发明专利]一种铁电隧道结器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202111258023.9 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN113991015A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 许晓欣;余杰;高兆猛;孙文绚;张握瑜;李熠;尚大山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种铁电隧道结器件及其制造方法，铁电隧道结器件包括依次层叠的第一电极、介质层、铁电层和第二电极，其中铁电层的厚度小于5纳米，铁电层厚度较薄，首先能够为器件提供较大的隧穿电流，其次较薄的铁电层能够增大铁电隧道结器件中的退极化场强度，加速退极化，降低数据保持能力，得到易失性的数据存储器件。该易失性的铁电隧道结器件可以应用于储备池计算网络系统，利用铁电隧道结器件在运行过程中采集出的多个极化电流作为储备池计算网络系统的虚拟节点，可以将数据并行输入该多个虚拟节点，即基于铁电隧道结器件的储备池计算网络系统可以并行处理数据，高效的进行神经网络模型的计算，满足神经网络模型进行高效训练的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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