[发明专利]一种基片叠层的控制系统、方法、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202111254052.8 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN113985773A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 李国林;马红雷;乔文远;邓珏琼 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;H01G4/12;H01G4/30 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘凤 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种基片叠层的控制系统、方法、电子设备及存储介质，通过采集图片，将图片发送给主控制器，主控制器根据接收的图片获取图片中图像对准点的位置坐标，根据位置坐标控制搬送台装置移动至图像对准点的位置，根据基片叠层位置的循环标志，控制搬送台装置移动至预设的循环标志对应的叠层位置处，进行基片叠层操作。采用本申请提供的技术方案能够通过控制搬送台的位移坐标转换，实现了搬送台上叠层位置的循环交替叠压过程，从而避免每次在同一位置叠压基片，导致的基片的损坏，提高了基片叠层产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基片叠层 控制系统 方法 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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